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6英寸氧化镓晶锭厚度突破70毫米

富加镓业以自主研发的垂直布里奇曼(VB)法成功生长出厚度超过70毫米的6英寸氧化镓单晶晶锭。经平湖实验室的高分辨率X射线衍射(HRXRD)检测,晶体结晶质量表现优异;中国计量科学研究院的测试结果显示,其电学性能已能满足碳化硅行业对衬底的要求。晶锭厚度被视为单晶生长技术成熟度和产业化水平的重要标志,更厚的晶锭可从单根晶体切割出更多衬底片,有助于显著降低单片成本并提升生产效率。

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